我国真空炉有着广阔的发展前景： (1)进一步提高自动化程度和控制精度，主要技术指标：①炉温均匀性 ≤±3℃;②充气压力 5×105Pa ~20×105Pa，Ar 氢混合气体控制冷却并回收;③较高加热温度 2500℃;④压升率 ＜6.67×10-1Pa/h;⑤真空度 10-2Pa~10-4Pa。 (2)开发真空等温热处理技术、设备及智能控制系统。 (3)开发真空感应加热技术。
真空炉的各项技术指标与其他热处理设备有相似之处，真空渗碳炉配件，但因其炉膛内必须能承受负压的作用，丽水真空渗碳炉，并能保持加热零件的无氧化、脱碳，由于其特殊的结构和加热的特点，低压真空渗碳炉，因此有些技术要求相对于比较严格，具体的主要技术参数归纳如下。
a．额定功率(kW)和电压(V)。
b．电极相数。
c．炉膛的有效加热区尺寸(mm)。
d．额定工作温度(℃)。
e．炉温的均匀性(℃)。
f．较大装炉量(kg)。
g．极限真空度(Pa)。
h．工作真空度(Pa)。
i．压升率（Pa/min或Pa/h）。
j．空炉抽空时间(min)。
k．空炉升温时间(min)。
1．工件转移时间(min)。
m．气体的消耗量（m3/炉）。
n．冷却水的消耗量(m3/h)。
o．外形结构尺寸(m)。
p．炉体总重(kg)。
真空炉的工艺：
真空炉真空中的退火、脱气、固溶处理主要用於纯净程度或表面质量要求高的工件，如难熔金属的软化和去应力、不锈钢和镍基合金的固溶处理、鈦和鈦合金的脱气处理、软磁合金改善导磁率和矫顽力的退火，高压真空渗碳炉，以及要求光亮的碳钢、低合金钢和铜等的光亮退火。真空中的淬火有气淬和液淬两种。气淬即将工件在真空加热后向冷却室中充以高纯度中性气体(如氮)进行冷却。适用於气淬的有高速钢和高碳高铬钢等马氏体临界冷却速度较低的材料。液淬是将工件在加热室中加热后，移至冷却室中充入高纯氮气并立即送入淬火油槽，快速冷却。如果需要高的表面质量，工件真空淬火和固溶热处理后的回火和沉淀硬化仍应在真空炉中进行。
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