真空炉是什么工作原理
真空系统工作时，首一先启动机械泵、维持泵和扩散泵（加热），同时打开前级阀和维持泵阀，对扩散泵内进行抽真空。当真空度达到系统某一设定值时，罗茨泵启 动，同时旁路阀打开，前级阀关闭，此时对真空室进行抽低真空当扩散泵加热至规定温度并且真空度高于规定值时，高阀打开，旁路阀关闭，前级阀打开。此时对真 空室抽高真空，达到工艺要求的真空度以后，方可进行热处理工作。热加工过程完成后，由热交换器对真空室充入高纯氮气进行强制冷却，完成整个工艺过程。
我国真空炉有着广阔的发展前景：
1) 自上世纪80年代以来，国外广泛采用高压气淬代替油淬，以免除清洗工序，提高工件表面质量。上世纪90年代初，高温真空热压炉，国外已在开发(20~40)×105Pa的高频淬火机，如上所述，真空热压炉厂家，业已开发出工作压力达100×105Pa，盐城真空热压炉，工作温度达2200℃的高温高压真空炉，向高温高压发展的趋势还将持续。 (2)广泛采用计算机微电子技术及网络技术，研制开发智能控制系统和网络管理系统，实现真空炉工艺和设备的柔性化和连续作业。
真空炉的各项技术指标与其他热处理设备有相似之处，但因其炉膛内必须能承受负压的作用，并能保持加热零件的无氧化、脱碳，由于其特殊的结构和加热的特点，因此有些技术要求相对于比较严格，具体的主要技术参数归纳如下。
a．额定功率(kW)和电压(V)。
b．电极相数。
c．炉膛的有效加热区尺寸(mm)。
d．额定工作温度(℃)。
e．炉温的均匀性(℃)。
f．较大装炉量(kg)。
g．极限真空度(Pa)。
h．工作真空度(Pa)。
i．压升率（Pa/min或Pa/h）。
j．空炉抽空时间(min)。
k．空炉升温时间(min)。
1．工件转移时间(min)。
m．气体的消耗量（m3/炉）。
n．冷却水的消耗量(m3/h)。
o．外形结构尺寸(m)。
p．炉体总重(kg)。
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